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什么是MEMS振镜

    MEMS振镜是一种基于微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System)手艺制作而成的细小可驱动反射镜。镜面直径通常只有几毫米。与古板的光学扫描镜相比，具有重量轻，体积。杀窘系偷挠诺。在光学，机械性能和功耗方面体现更为突出。

图1：MEMS振镜事情示意图

      图2： 电磁式MEMS振镜

      MEMS振镜的运动方法包括平动和扭转两种机械运动。关于扭转MEMS振镜，当其光学偏转角度较大（抵达10°以上），可以实现激光的指向偏转、图形化扫描、图像扫描。

MEMS振镜的市场应用

      基于其特异的性能，MEMS振镜已渗透到消耗电子、医疗、军事国防、通讯等领域。这其中有已经量产的应用，尚有许多看法性的应用。主要应用领域有三个方面：激光扫描、光通讯、数字显示。激光扫描主要是指激光雷达、3D摄像头、条形码扫描、激光打印机、医疗成像；光通讯主要指光分插复用器、光衰减器、光开关、光栅；数字显示指高清电视、激光微投影、数字影院、汽车仰面显示（HUD）、激光键盘、增强现实（AR）等方面的应用。以下特对MEMS振镜在激光雷达和投影显示领域的应用情形。

      1.MEMS振镜在激光雷达方面的应用

      早在1960年激光雷达看法就已提出，近些年来激光雷达才进入迅速生长时期，学术界和工业界一致以为激光雷达是无人驾驶（包括自动驾驶车辆，AGV，UAV等）不可或缺的探测和传感部件。激光雷达可用于物体探测与规避，物体识别与跟踪，即时定位与地图构建等。随着无人驾驶的快速生长，关于激光雷达的需求日益增添。

      作甚MEMS激光雷达？MEMS振镜（取代宏观机械式扫描器）通过在微观标准上实现激光雷达发射端的光束使用，接纳上述光束使用方法的激光探测和测距系统称为MEMS激光雷达。激光雷达接纳MEMS振镜作为激光光束扫描元件，具有体积小、宏观结构简朴、可靠性高、功耗低等优势，是现在激光雷达实现落地应用的最合适的手艺路径。

      一是MEMS振镜资助激光雷达挣脱了粗笨的马达、多棱镜等机械运动装置，毫米级尺寸的微振镜大大镌汰了激光雷达的尺寸，无论从雅观度、车载集成度照旧本钱角度来讲，其优势都令人赞叹！

      第二，MEMS振镜的引入可以镌汰激光器和探测器数目，极大地降低本钱。古板的机械式激光雷达要实现几多线束，就需要几多组发射？橛胛漳？。而接纳二维MEMS振镜，仅需要一束激光光源，通过一面MEMS振镜来反射激光器的光束。

图3：MEMS激光雷达的事情原理

      2.显示领域的应用

      微机电系统(MEMS)显示手艺以卓越的图像质量而著名，全球80%以上的数字影院都接纳这种手艺。现在，尺寸、效率和亮度上的最新立异使这一成熟手艺也可用于形状小巧且电池供电的装备，允许开发商、品牌厂商和系统集成商建设大宗应用和设计产品，险些可将任何外貌转换成高品质的高清投影显示器。如高清电视、激光微投影（手机、平板电脑和便携式投影仪等为载体）、数字影院、汽车仰面显示（HUD）、激光键盘、增强现实（AR）等。MEMS激光投影相比古板光源具有不可相比的优点:

      色彩好、饱和度高

      激光投影性能实现远大于古板光源的色彩空间，具有极好的偏向性，光束的发散立体角很小。

      寿命长，可靠性好

     通俗投影机的灯胆光源寿命一样平常在上千小时为极限，而激光光源的寿命可以抵达数万小时之久，可以做到真正的免维护、高可靠性。

      高功率、低能耗

     激光光源的功耗远低于氙灯灯胆，别的由于结构的缘故原由，也不会有爆碎的：。

图4：手机投影显示应用    

图5：手机投影显示应用

图6：汽车仰面显示（HUD）应用

图7：AR眼镜应用

（注：以上图片均泉源于网络）

      同时在物联网领域，基于MEMS和MOEMS（微型光机电系统）手艺的交互式投影？檎诔晌碌慕饩龇桨，通过该？榻槟庥没Ы缑嫱枷裢队暗酵饷采，并一连扫描，以检测用户的手势和交互，例如触摸、拖动或点击，无需受到物理控制拨号和按钮的阻碍，将为物联网和消耗产品空间带来刷新，为“打造越发智能的天下”施展重大的作用。

365MEMS振镜系统的结构及应用

      公司子公司365微手艺一直专注于光电转换和图像处置惩罚的模拟IC和数字IC产品的研爆发产，通过其多年的光电转换手艺积累和自有晶圆生产线提供的产能包管，近年来一直结构MEMS振镜产品市场。

      现在365微手艺MEMS振镜的第一代产品主要应用于车用激光雷达的MEMS组件，已经实现小批量生产及销售。

表1：365微手艺MEMS振镜初代产品规格（激光雷达用）

      上表所示产品规格为365微手艺初代产品规格，现在相关指标已有较洪流平的提升，其中用于车载激光雷达的更大直径即更大视场角的第二代MEMS振镜（φ4mm）产品也正在设计开发中；同时365微手艺也正在研发面向激光投影显示等应用场景越发富厚的MEMS振镜产品。

      基于MEMS振镜产品较高的手艺门槛和普遍应用远景，公司将牢牢掌握现有优势，加速拓展MEMS振镜产品在车用激光雷达市场的销售规模，同时也将一连投入研发实力，尽快实现公司自有产品在激光投影、AR以及IOT显示领域的工业化应用。